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In situ Qualitätsbeurteilung von Schleifprozessen mittels Mikrosystemtechnik basierter Sensorfusion
(2020)
Oberflächenstabilisierung nanostrukturierter poröser Siliziumschichten für sensorische Anwendungen
(2012)
Steuerung der Peaklage und der Sensitivität von siliziumbasierten porösen optischen Multischichten
(2013)
Optische Charakterisierung von Stress-relaxierten aktiven MOEMS-Membranspiegeln mit großer Apertur
(2015)
Aktorik: Nanomotor
(2000)
Smart Energy: Miniaturisierte Energieversorung für autarke mikroelektronische und Mikro-Systeme
(2009)
Charakterisierung eines bi-stabilen Schalters mit großem Schaltweg und einstellbaren Haltekräften
(2005)
Skalierbare Verbindungstechnik mittels anpassbarer nanoskaliger Verbindungsstrukturen (NanoBond)
(2009)
Mikrosystemtechnik: Mikrotechnische hergestelltes aktiv-optisches System für Fokussieraufgaben
(2005)
Bewegungsgeber
(2000)
Bewegungsgeber
(2001)