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Aktorik: Nanomotor
(2000)
Bewegungsgeber
(2000)
Bewegungsgeber
(2001)
Charakterisierung eines bi-stabilen Schalters mit großem Schaltweg und einstellbaren Haltekräften
(2005)
In situ Qualitätsbeurteilung von Schleifprozessen mittels Mikrosystemtechnik basierter Sensorfusion
(2020)
Mikrosystemtechnik: Mikrotechnische hergestelltes aktiv-optisches System für Fokussieraufgaben
(2005)
Oberflächenstabilisierung nanostrukturierter poröser Siliziumschichten für sensorische Anwendungen
(2012)
Optische Charakterisierung von Stress-relaxierten aktiven MOEMS-Membranspiegeln mit großer Apertur
(2015)
Skalierbare Verbindungstechnik mittels anpassbarer nanoskaliger Verbindungsstrukturen (NanoBond)
(2009)
Smart Energy: Miniaturisierte Energieversorung für autarke mikroelektronische und Mikro-Systeme
(2009)