Volltext-Downloads (blau) und Frontdoor-Views (grau)

Optische Insitu-Prozesskontrolle beim anisotropen Ätzen von Si-Membranen

Export metadata

Additional Services

Search Google Scholar

Statistics

frontdoor_oas
Metadaten
Author:Ulrich MeschederORCiDGND, C. Kötter, E. Kolguin, A. Oukhov
ISBN:3-8007-2330-1
Parent Title (German):Sensoren und Meßtechnik: Vorträge der ITG-Fachtagung vom 9. bis 11. März 1998 in Bad Nauheim
Publisher:VDE-Verlag
Place of publication:Berlin
Document Type:Conference Proceeding
Language:German
Year of Completion:1998
Release Date:2018/09/27
First Page:365
Last Page:372
Licence (German):License LogoUrheberrechtlich geschützt