TY  - CHAP
U1  - Konferenzveröffentlichung
A1  - Mescheder, Ulrich
A1  - Kötter, C.
A1  - Kolguin, E.
A1  - Oukhov, A.
T1  - Optische Insitu-Prozesskontrolle beim anisotropen Ätzen von Si-Membranen
T2  - Sensoren und Meßtechnik: Vorträge der ITG-Fachtagung vom 9. bis 11. März 1998 in Bad Nauheim
Y1  - 1998
SN  - 3-8007-2330-1
SB  - 3-8007-2330-1
SP  - 365
EP  - 372
PB  - VDE-Verlag
CY  - Berlin
ER  -