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Optimierung der Technologie und Herstellung von freitragenden Polysilizium-Membranen
(1992)
Kovacs, Andras
;
Stoffel, A.
Mikrotechnologie: Herstellung von porösem Silizium und seine Anwendungsmöglichkeit in der Sensortechnologie
(2000)
Mescheder, Ulrich
;
Kovacs, Andras
Verfahren zur Herstellung von Feuchtesensoren
(2002)
Mescheder, Ulrich
;
Kovacs, Andras
;
Müller, Bernhard
;
Adam, Maria
;
Barsony, Istvan
;
Dücsö, Csaba
;
Fürjes, Peter
3D-Mikrostrukturierungsverfahren: von kristallinem Silizium mit lokal einstellbarem Anisotropiefaktor
(2005)
Mescheder, Ulrich
;
Kovacs, Andras
Neuartiger Mikrosensor zur Luftgütemessung mit kombiniertem Feuchte- und Gassensor
(2005)
Peter, Andreas
;
Ament, Christoph
;
Bauersfeld, Marie-Luise
;
Rademacher, Sven
;
Wöllenstein, Jürgen
;
Kovacs, Andras
;
Kritwattanakhorn, Jutaphorn
;
Müller, Bernhard
;
Mescheder, Ulrich
"Single chip"-Sensorarray zu Luftqualitätsmessung
(2005)
Ament, Christoph
;
Bauersfeld, Marie-Luise
;
Kovacs, Andras
;
Kritwattanakhorn, Jutaphorn
;
Mescheder, Ulrich
;
Müller, Bernhard
Optische Penmaus mit Bluetooth
(2005)
Mescheder, Ulrich
;
Kovacs, Andras
;
Schneider, Roland
Mikrosystemtechnik: Optische Penmaus mit Bluetooth
(2005)
Mescheder, Ulrich
;
Kovacs, Andras
;
Schneider, Roland
Verfahren zur Bildung einer Ausnehmung in der Oberfläche eines Werkstücks, insbesondere zur Herstellung von Mikroformen
(2006)
Mescheder, Ulrich
;
Kovacs, Andras
3-D Micro Free-Form Manufacturing in Silicon: Micro Free- Form Production for Plastics Moulding Technology
(2006)
Huster, Rolf
;
Kovacs, Andras
;
Mescheder, Ulrich
Modellbasierte Verfahren zur Bestimmung der Luftgüte
(2007)
Peter, Andreas
;
Ament, Christoph
;
Bauersfeld, Marie-Luise
;
Rademacher, Sven
;
Wöllenstein, Jürgen
;
Kritwattanakhorn, Jutaphorn
;
Kovacs, Andras
;
Müller, Bernhard
;
Mescheder, Ulrich
Einfluss unterschiedlicher Passivierungsschichten auf die Bildungsrate von porösem Silizium an Strukturkanten bei der 3DFormherstellung
(2007)
Ivanov, Alexey
;
Mescheder, Ulrich
;
Kovacs, Andras
;
Huster, Rolf
Mikrosystemtechnik: Sensorarray zur Lufqualitätsmessung
(2007)
Kritwattanakhorn, Jutaphorn
;
Kovacs, Andras
;
Mescheder, Ulrich
;
Müller, Bernd
;
Ament, Christoph
;
Peter, Andreas
;
Bauersfeld, Marie-Luise
;
Rademacher, Sven
;
Wöllenstein, Jürgen
Mikrosystemtechnik: Herstellung perforierter und poröser Membranmodule für die Mikro- und Nanofiltration
(2007)
Kovacs, Andras
;
Kovacs, Adam
;
Pogany, Marton
;
Mescheder, Ulrich
Mikrostrukturierter Sensorarray zur Luftqualitätsmessung (MOSEL)
(2009)
Mescheder, Ulrich
;
Kovacs, Andras
;
Kritwattanakhorn, Jutaphorn
;
Müller, Bernhard
;
Bauersfeld, Marie-Luise
;
Rademacher, Sven
;
Wöllenstein, Jürgen
;
Ament, Christoph
;
Peter, Andreas
Entwicklung und Charakterisierung von photonischen Multischichten aus porösem Silizium für biosensorische Anwendungen
(2009)
Kovacs, Andras
;
Jonnalagadda, Prasad
;
Meng, X.
;
Mescheder, Ulrich
Nanostrukturierte Siliziumoberflächen für Mikro-Nano-Integration
(2009)
Mescheder, Ulrich
;
Kovacs, Andras
;
Jonnalagadda, Prasad
;
Nimo, Antwi
Selbstjustierendes Bondverfahren unter Verwendung nanostrukturierter Oberflächen
(2009)
Mescheder, Ulrich
;
Kovacs, Andras
;
Jonnalagadda, Prasad
;
Nimo, Antwi
Skalierbare Verbindungstechnik mittels anpassbarer nanoskaliger Verbindungsstrukturen (NanoBond)
(2009)
Mescheder, Ulrich
;
Kovacs, Andras
;
Jonnalagadda, Prasad
;
Nimo, Antwi
;
Kauzlaric, David
;
Lienemann, Jan
;
Greiner, Andreas
;
Korvink, Jan
;
Freudenreich, Markus
Optisches Messsystem für biosensorische Anwendungen
(2010)
Kovacs, Andras
;
Mescheder, Ulrich
;
Jonnalagadda, Prasad
;
Meng, X.
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