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Validierung von Mikrogetrieben – Erhöhte Korrelation zwischen Simulation und Prüfstandsversuch
(2009)
Steuerung der Peaklage und der Sensitivität von siliziumbasierten porösen optischen Multischichten
(2013)
Optische Charakterisierung von Stress-relaxierten aktiven MOEMS-Membranspiegeln mit großer Apertur
(2015)
Oberflächenstabilisierung nanostrukturierter poröser Siliziumschichten für sensorische Anwendungen
(2012)
Das EMF-Kataster Saar
(2006)