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Optimierung der Technologie und Herstellung von freitragenden Polysilizium-Membranen
(1992)
Kovacs, Andras
;
Stoffel, A.
Mikrotechnologie: Herstellung von porösem Silizium und seine Anwendungsmöglichkeit in der Sensortechnologie
(2000)
Mescheder, Ulrich
;
Kovacs, Andras
Verfahren zur Herstellung von Feuchtesensoren
(2002)
Mescheder, Ulrich
;
Kovacs, Andras
;
Müller, Bernhard
;
Adam, Maria
;
Barsony, Istvan
;
Dücsö, Csaba
;
Fürjes, Peter
3D-Mikrostrukturierungsverfahren: von kristallinem Silizium mit lokal einstellbarem Anisotropiefaktor
(2005)
Mescheder, Ulrich
;
Kovacs, Andras
Neuartiger Mikrosensor zur Luftgütemessung mit kombiniertem Feuchte- und Gassensor
(2005)
Peter, Andreas
;
Ament, Christoph
;
Bauersfeld, Marie-Luise
;
Rademacher, Sven
;
Wöllenstein, Jürgen
;
Kovacs, Andras
;
Kritwattanakhorn, Jutaphorn
;
Müller, Bernhard
;
Mescheder, Ulrich
"Single chip"-Sensorarray zu Luftqualitätsmessung
(2005)
Ament, Christoph
;
Bauersfeld, Marie-Luise
;
Kovacs, Andras
;
Kritwattanakhorn, Jutaphorn
;
Mescheder, Ulrich
;
Müller, Bernhard
Optische Penmaus mit Bluetooth
(2005)
Mescheder, Ulrich
;
Kovacs, Andras
;
Schneider, Roland
Mikrosystemtechnik: Optische Penmaus mit Bluetooth
(2005)
Mescheder, Ulrich
;
Kovacs, Andras
;
Schneider, Roland
Verfahren zur Bildung einer Ausnehmung in der Oberfläche eines Werkstücks, insbesondere zur Herstellung von Mikroformen
(2006)
Mescheder, Ulrich
;
Kovacs, Andras
3-D Micro Free-Form Manufacturing in Silicon: Micro Free- Form Production for Plastics Moulding Technology
(2006)
Huster, Rolf
;
Kovacs, Andras
;
Mescheder, Ulrich
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