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Mikrotechnologie: Lebensdaueruntersuchungen an mikromechanischen Bauelementen

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Metadaten
Author:Ulrich MeschederORCiDGND, Wolfgang Kronast
Parent Title (German):Forschungsbericht
Document Type:Report
Identifier:Im Katalog der Hochschule Furtwangen ansehen
Language:German
Year of Completion:2002
Release Date:2018/09/14
First Page:22
Last Page:26
Forschungsbericht:Forschungsbericht 2002
Licence (German):License LogoUrheberrechtlich geschützt