TY - RPRT U1 - Verschiedenartige Texte A1 - Mescheder, Ulrich A1 - Kronast, Wolfgang T1 - Mikrotechnologie: Lebensdaueruntersuchungen an mikromechanischen Bauelementen T2 - Forschungsbericht Y2 - 2002 SP - 22 EP - 26 ER -