Optimierung der Technologie und Herstellung von freitragenden Polysilizium-Membranen
| Author: | Andras KovacsORCiDGND, A. Stoffel |
|---|---|
| Parent Title (German): | Forschungsbericht |
| Publisher: | Weka-Verlag |
| Place of publication: | Kissing |
| Document Type: | Report |
| Identifier: | Im Katalog der Hochschule Furtwangen ansehen |
| Language: | German |
| Year of Completion: | 1992 |
| Release Date: | 2018/02/20 |
| Page Number: | 3 |
| First Page: | 30 |
| Last Page: | 32 |
| Forschungsbericht: | Forschungsbericht 1992 |
| Licence (German): |  Urheberrechtlich geschützt |