Röntgenstrahllithographie: Herstellung einer 0.5 μm Schaltung und Overlayuntersuchungen

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Metadaten
Author:U. Mackens, Ulrich MeschederGND, H. Lüthje
ISBN:3-8007-1624-0
ISSN:0176-8867
Parent Title (German):Mikroelektronik: Vorträge der GME-Fachtagung vom 13. bis 15. März 1989 in Baden-Baden
Publisher:VDE-Verlag
Place of publication:Berlin
Document Type:Conference Proceeding
Language:German
Year of Completion:1989
Release Date:2018/02/01
First Page:115
Last Page:126
Access Rights:Frei verfügbar
Licence (German):License LogoEs gilt das UrhG