TY - CPAPER U1 - Konferenzveröffentlichung A1 - Mackens, U. A1 - Mescheder, Ulrich A1 - Lüthje, H. T1 - Röntgenstrahllithographie: Herstellung einer 0.5 μm Schaltung und Overlayuntersuchungen T2 - Mikroelektronik: Vorträge der GME-Fachtagung vom 13. bis 15. März 1989 in Baden-Baden Y1 - 1989 SN - 0176-8867 SS - 0176-8867 SN - 3-8007-1624-0 SB - 3-8007-1624-0 SP - 115 EP - 126 PB - VDE-Verlag CY - Berlin ER -