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Prozess zum Transfer und zur Einbettung von kleinen Dies in ein flexibles Foliensystem bei niedrigen Temperaturen

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Metadaten
Author:Andreas Heid, Lukas Scheuble, Rene von Metzen, Volker BucherGND
ISBN:978-3-8007-4491-6
Parent Title (German):MikroSystemTechnik Kongress 2017: MEMS, Mikroelektronik, Systeme; 23. – 25. Oktober 2017 in München
Publisher:VDE-Verlag
Place of publication:Berlin
Document Type:Conference Proceeding
Language:German
Year of Completion:2017
Release Date:2018/02/15
Tag:CD-ROM
First Page:628
Last Page:631
Licence (German):License LogoEs gilt das UrhG