@inproceedings{HeidScheubleMetzenetal.2017,
  author    = {Andreas Heid and Lukas Scheuble and Rene von Metzen and Volker Bucher},
  title     = {Prozess zum Transfer und zur Einbettung von kleinen Dies in ein flexibles Foliensystem bei niedrigen Temperaturen},
  series = {MikroSystemTechnik Kongress 2017: MEMS, Mikroelektronik, Systeme; 23. – 25. Oktober 2017 in M{\"u}nchen},
  publisher = {VDE-Verlag},
  address   = {Berlin},
  isbn      = {978-3-8007-4491-6},
  pages     = {628 -- 631},
  year      = {2017},
  language  = {de}
}