Plasmaunterstützte chemische Dampfphasenabscheidung

Export metadata

Additional Services

Share in Twitter Search Google Scholar
Metadaten
Author:Volker Bucher
ISBN:978-3-87480-257-4
Parent Title (German):Vakuum, Plasma, Technologien Teil I
Publisher:Leuze
Place of publication:Bad Saulgau
Editor:Gerhard Blasek, Günter Bräuer
Document Type:Part of a Book
Opac ID:Im Katalog der Hochschule Furtwangen ansehen
Language:German
Year of Completion:2010
Release Date:2017/06/28
First Page:322
Last Page:355
Licence (German):License LogoEs gilt das UrhG