TY  - CHAP
U1  - Buchbeitrag
A1  - Bucher, Volker
ED  - Blasek, Gerhard
ED  - Bräuer, Günter
T1  - Plasmaunterstützte chemische Dampfphasenabscheidung
T2  - Vakuum, Plasma, Technologien Teil I
Y1  - 2010
SN  - 978-3-87480-257-4
SB  - 978-3-87480-257-4
SP  - 322
EP  - 355
PB  - Leuze
CY  - Bad Saulgau
ER  -