Galvanische und aussenstromlose Methoden zur Herstellung metallischer Mikrostrukturen
| Author: | Klaus Bade, Andreas FathGND, Markus Guttmann, Eric Walch |
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| ISSN: | 0947-8620 |
| Parent Title (German): | 4. Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, 30./31. März 2000 im Forschungszentrum Karlsruhe |
| Publisher: | Forschungszentrum Karlsruhe GmbH |
| Place of publication: | Karlsruhe |
| Document Type: | Conference Proceeding |
| Language: | German |
| Year of Completion: | 2000 |
| Release Date: | 2017/12/11 |
| First Page: | 199 |
| Last Page: | 200 |
| Licence (German): |  Urheberrechtlich geschützt |