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Forschungsbericht 2000
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Sensorik: Chip im Reifen - Oberflächenmikromechanik
(2000)
Mescheder, Ulrich
Mikrotechnologie: Laserbearbeitung in der Mikrotechnik
(2000)
Mescheder, Ulrich
Mikrotechnologie: Herstellung von porösem Silizium und seine Anwendungsmöglichkeit in der Sensortechnologie
(2000)
Mescheder, Ulrich
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Kovacs, Andras
Photochemische Verfahrenstechnik: Engineering and Applications of Incoherent Excimer Lamps
(2000)
Oppenländer, Thomas
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