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Huster, Rolf
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Mescheder, Ulrich
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Kronast, Wolfgang
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2007
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Optische Charakterisierung von Stress-relaxierten aktiven MOEMS-Membranspiegeln mit großer Apertur
(2015)
Kronast, Wolfgang
;
Lange, Volker
;
Huster, Rolf
;
Mescheder, Ulrich
Einfluss unterschiedlicher Passivierungsschichten auf die Bildungsrate von porösem Silizium an Strukturkanten bei der 3DFormherstellung
(2007)
Ivanov, Alexey
;
Mescheder, Ulrich
;
Kovacs, Andras
;
Huster, Rolf
3-D Micro Free-Form Manufacturing in Silicon: Micro Free- Form Production for Plastics Moulding Technology
(2006)
Huster, Rolf
;
Kovacs, Andras
;
Mescheder, Ulrich
3-D Micro Free-Form Manufacturing in Silicon Micro-Free- Form Production for Plastics Moulding Technology
(2005)
Huster, Rolf
;
Kovacs, Andras
;
Mescheder, Ulrich
3D structuring of c-Si using porous silicon as sacrificial material
(2002)
Mescheder, Ulrich
;
Kovacs, Andras
;
Fahad, A.
;
Huster, Rolf
Entwicklung einer Stressausgleichsstruktur für spannungsarme aktive Membranspiegel in SOI Technologie
(2013)
Kronast, Wolfgang
;
Mescheder, Ulrich
;
Müller, Bernhard
;
Huster, Rolf
Development of a focusing micromirror device with an in-plane stress relief structure in SOI technology
(2013)
Kronast, Wolfgang
;
Mescheder, Ulrich
;
Müller, Bernhard
;
Huster, Rolf
Stressuntersuchung und Optimierung von SOI basierten Membranen
(2009)
Kronast, Wolfgang
;
Mescheder, Ulrich
;
Huster, Rolf
Optimierung und Charakterisierung eines Membranspiegels zur dynamischen Fokussierung
(2007)
Mescheder, Ulrich
;
Huster, Rolf
;
Kronast, Wolfgang
;
Hellmuth, Thomas
;
Khrennikov, Konstantin
Aufbau- und Verbindungstechnik für ein mikrooptisches System
(2007)
Kögler, Daniela
;
Huster, Rolf
;
Kronast, Wolfgang
;
Mescheder, Ulrich
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