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In situ Qualitätsbeurteilung von Schleifprozessen mittels Mikrosystemtechnik basierter Sensorfusion
(2020)
Oberflächenstabilisierung nanostrukturierter poröser Siliziumschichten für sensorische Anwendungen
(2012)
Steuerung der Peaklage und der Sensitivität von siliziumbasierten porösen optischen Multischichten
(2013)