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PSi-based Diffusion Membranes (2016)

Temperatureinfluss auf die Peakposition bei verschiedenen Umgebungsmedien in Porösen Silizium Multilayerschichten (2015)

Kovacs, Andras ; Maurer, Philipp ; Mescheder, Ulrich

Tunable Narrow Band Porous Photonic Crystals for MOEMS Based Scanning Systems (2015)

Kovacs, Andras ; Ivanov, Alexey ; Mescheder, Ulrich

Refractometer Using Photonic Crystals for Fermentation Process Characterization (2015)

Kovacs, Andras ; Ivanov, Alexey ; Mescheder, Ulrich

Adaptiver optischer Filter bzw. spektral einstellbare Lichtquelle (2015)

Mescheder, Ulrich ; Kovacs, Andras ; Kronast, Wolfgang ; Müller, Bernhard ; Ivanov, Alexey

Application of local backside contacts for structuring Of silicon with anodization: simulation and experiments (2016)

Ivanov, Alexey ; Kovacs, Andras ; Mescheder, Ulrich

Optischer Biosensor mittels selbstorganisierter nanostrukturierte Multilayerschichten (2011)

Mescheder, Ulrich ; Jonnalagadda, Prasad ; Kovacs, Andras ; Meng, X.

Laserspektroskopie von Gasen mit Kapillar-Lichtwellenleitern (2015)

Lange, Volker ; Kovacs, Andras ; Hönl, Robert

Transport mechanisms in nanostructured porous silicon layers for sensor and filter applications (2012)

Kovacs, Andras ; Mescheder, Ulrich

Oberflächenstabilisierung nanostrukturierter poröser Siliziumschichten für sensorische Anwendungen (2012)

Kovacs, Andras ; Ivanov, Alexey ; Malisauskaite, Aina ; Mescheder, Ulrich

Contact Mechanics and Needle Like Surfaces for Micro-Nano Integration (2012)

Keshavarzi, Shervin ; Mescheder, Ulrich ; Reinecke, Holger ; Kovacs, Andras

Schmalbandige photonische Kristalle für Multispektral-Analyse (2017)

Kovacs, Andras ; Ivanov, Alexey ; Mescheder, Ulrich

Steuerung der Peaklage und der Sensitivität von siliziumbasierten porösen optischen Multischichten (2013)

Kovacs, Andras ; Malisauskaite, Aina ; Ivanov, Alexey ; Mescheder, Ulrich

Einfluss der Morphologie auf die Sensitivität eines photonischen Biosensors (2013)

Kovacs, Andras ; Malisauskaite, Aina ; Mescheder, Ulrich

Optical sensing and analysis system based on porous layers (2013)

Kovacs, Andras ; Malisauskaite, Aina ; Ivanov, Alexey ; Mescheder, Ulrich ; Wittig, Rainer

Portable Optical Sensor Using Tunable Optical Multilayers (2013)

Kovacs, Andras ; Malisauskaite, Aina ; Ivanov, Alexey ; Mescheder, Ulrich

Optoelectrical detection system using porous silicon-based optical multilayers (2011)

Kovacs, Andras ; Jonnalagadda, Prasad ; Mescheder, Ulrich

Nanoneedles based on porous silicon for chip bonding with self assembly capability (2011)

Jonnalagadda, Prasad ; Mescheder, Ulrich ; Kovacs, Andras ; Nimo, Antwi

High quality 3D shapes by silicon anodization (2011)

Ivanov, Alexey ; Kovacs, Andras ; Mescheder, Ulrich

Transport in Surface Passivated Porous Silicon Membranes (2013)

Kovacs, Andras ; Kronast, Wolfgang ; Filbert, Alexander ; Mescheder, Ulrich

Mikrosystemtechnische Geruchssensorik und ihre Anwendungen in AAL (2017)

Benyoucef, Dirk ; Kallfaß, Vera ; Kovacs, Andras ; Mescheder, Ulrich ; Palzer, Stefan

Optisches Messsystem für biosensorische Anwendungen (2010)

Kovacs, Andras ; Mescheder, Ulrich ; Jonnalagadda, Prasad ; Meng, X.

Nasschemisches Ätzen von nahezu beliebigen 3D-Strukturen in Silizium (2010)

Ivanov, Alexey ; Kovacs, Andras ; Mescheder, Ulrich

Optischer Biosensor mittels selbstorganisierter nanostrukturierte Multilayerschichten (2010)

Mescheder, Ulrich ; Jonnalagadda, Prasad ; Kovacs, Andras ; Meng, X.

Mikrostrukturierter Sensorarray zur Luftqualitätsmessung (MOSEL) (2009)

Mescheder, Ulrich ; Kovacs, Andras ; Kritwattanakhorn, Jutaphorn ; Müller, Bernhard ; Bauersfeld, Marie-Luise ; Rademacher, Sven ; Wöllenstein, Jürgen ; Ament, Christoph ; Peter, Andreas

Characterization of porous silicon based optical sensor system for biosensor applications (2009)

Kovacs, Andras ; Jonnalagadda, Prasad ; Meng, X. ; Mescheder, Ulrich

Sensor system for air quality measurement (2007)

Kovacs, Andras ; Müller, Bernhard ; Kritwattanakhorn, Jutaphorn ; Mescheder, Ulrich ; Peter, Andreas ; Ament, Christoph ; Wöllenstein, Jürgen ; Bauersfeld, Marie-Luise ; Rademacher, Sven

Nanostrukturierte Siliziumoberflächen für Mikro-Nano-Integration (2009)

Mescheder, Ulrich ; Kovacs, Andras ; Jonnalagadda, Prasad ; Nimo, Antwi

Optimisation of Surface Quality of 3D Silicon Master Forms for Injection Molding of Optical Micro Elements (2009)

Ivanov, Alexey ; Kovacs, Andras ; Mescheder, Ulrich ; Kuhn, S. ; Kübler, M. ; Burr, A.

Entwicklung und Charakterisierung von photonischen Multischichten aus porösem Silizium für biosensorische Anwendungen (2009)

Kovacs, Andras ; Jonnalagadda, Prasad ; Meng, X. ; Mescheder, Ulrich

Investigation of humidity adsorption in porous silicon layers (2009)

Kovacs, Andras ; Meister, Dirk ; Mescheder, Ulrich

MEMS-Based Air Quality Sensor (2007)

Mescheder, Ulrich ; Bauersfeld, Marie-Luise ; Kovacs, Andras ; Kritwattanakhorn, Jutaphorn ; Müller, Bernhard ; Peter, Andreas ; Ament, Christoph ; Rademacher, Sven ; Wöllenstein, Jürgen

Optimization of platinum adhesion in electrochemical etching process for multi-sensor systems (2007)

Kritwattanakhorn, Jutaphorn ; Bauersfeld, Marie-Luise ; Kovacs, Andras ; Müller, Bernhard ; Mescheder, Ulrich ; Rademacher, Sven ; Wöllenstein, Jürgen

Einfluss unterschiedlicher Passivierungsschichten auf die Bildungsrate von porösem Silizium an Strukturkanten bei der 3DFormherstellung (2007)

Ivanov, Alexey ; Mescheder, Ulrich ; Kovacs, Andras ; Huster, Rolf

Modellbasierte Verfahren zur Bestimmung der Luftgüte (2007)

Peter, Andreas ; Ament, Christoph ; Bauersfeld, Marie-Luise ; Rademacher, Sven ; Wöllenstein, Jürgen ; Kritwattanakhorn, Jutaphorn ; Kovacs, Andras ; Müller, Bernhard ; Mescheder, Ulrich

3-D Micro Free-Form Manufacturing in Silicon: Micro Free- Form Production for Plastics Moulding Technology (2006)

Huster, Rolf ; Kovacs, Andras ; Mescheder, Ulrich

Optimization of platinum adhesion in electrochemical etching process for multi-sensor systems (2006)

Kritwattanakhorn, Jutaphorn ; Kovacs, Andras ; Mescheder, Ulrich ; Müller, Bernhard ; Bauersfeld, Marie-Luise ; Rademacher, Sven ; Wöllenstein, Jürgen

"Single chip"-Sensorarray zu Luftqualitätsmessung (2005)

Ament, Christoph ; Bauersfeld, Marie-Luise ; Kovacs, Andras ; Kritwattanakhorn, Jutaphorn ; Mescheder, Ulrich ; Müller, Bernhard

3-D Micro Free-Form Manufacturing in Silicon Micro-Free- Form Production for Plastics Moulding Technology (2005)

Huster, Rolf ; Kovacs, Andras ; Mescheder, Ulrich

Optische Penmaus mit Bluetooth (2005)

Mescheder, Ulrich ; Kovacs, Andras ; Schneider, Roland

Neuartiger Mikrosensor zur Luftgütemessung mit kombiniertem Feuchte- und Gassensor (2005)

Peter, Andreas ; Ament, Christoph ; Bauersfeld, Marie-Luise ; Rademacher, Sven ; Wöllenstein, Jürgen ; Kovacs, Andras ; Kritwattanakhorn, Jutaphorn ; Müller, Bernhard ; Mescheder, Ulrich

Surface Micromachining Process for C-Si as Active Material (2001)

Kovacs, Andras ; Mescheder, Ulrich

Porous silicon as multifunctional material in MEMS (2001)

Mescheder, Ulrich ; Kovacs, Andras ; Kronast, Wolfgang ; Barsony, Istvan ; Adam, Maria ; Dücsö, Cs.

3D structuring of c-Si using porous silicon as sacrificial material (2002)

Mescheder, Ulrich ; Kovacs, Andras ; Fahad, A. ; Huster, Rolf

Porous silicon-based humidity sensor with interdigital electrodes and internal heaters (2003)

Fürjes, P. ; Kovacs, Andras ; Dücsö, Cs. ; Adam, Maria ; Müller, Bernhard ; Mescheder, Ulrich

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