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Mikrotechniken für den wirtschaftlichen Erfolg
(2009)
Link, Thomas
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Mescheder, Ulrich
Smart Energy: Miniaturisierte Energieversorung für autarke mikroelektronische und Mikro-Systeme
(2009)
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Skalierbare Verbindungstechnik mittels anpassbarer nanoskaliger Verbindungsstrukturen (NanoBond)
(2009)
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Freudenreich, Markus
Zentrum für Angewandte Forschung Photon hoch n: Photonische Verfahren in neuen Dimensionen
(2009)
Mescheder, Ulrich
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Kühlke, Dietrich
Formation of arbitrarily shaped 3D-forms in silicon by electrochemical wet-etching
(2009)
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Mescheder, Ulrich
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Kröner, Michael
Selbstjustierendes Bondverfahren unter Verwendung nanostrukturierter Oberflächen
(2009)
Mescheder, Ulrich
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Kovacs, Andras
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Jonnalagadda, Prasad
;
Nimo, Antwi
Investigation of humidity adsorption in porous silicon layers
(2009)
Kovacs, Andras
;
Meister, Dirk
;
Mescheder, Ulrich
Entwicklung und Charakterisierung von photonischen Multischichten aus porösem Silizium für biosensorische Anwendungen
(2009)
Kovacs, Andras
;
Jonnalagadda, Prasad
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Meng, X.
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Mescheder, Ulrich
Stressuntersuchung und Optimierung von SOI basierten Membranen
(2009)
Kronast, Wolfgang
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Mescheder, Ulrich
;
Huster, Rolf
Optimisation of Surface Quality of 3D Silicon Master Forms for Injection Molding of Optical Micro Elements
(2009)
Ivanov, Alexey
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Kovacs, Andras
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Mescheder, Ulrich
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Kuhn, S.
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Kübler, M.
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Burr, A.
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