OPUS 4 | Search

Technische Unterstützung für Blinde zur sicheren Bewegung in unbekanntem Umfeld 2. Mikrosystemtechnischer taktiler Informationsgeber für ein Blindennavigationssystem (2013)

Mescheder, Ulrich ; Huster, Rolf ; Zhu, Rui

Mikrotechnologie: Mikrofreiformerzeugung in Silizium (2005)

Huster, Rolf ; Mescheder, Ulrich ; Valero, R.

Aufbau- und Verbindungstechnik für ein mikrooptisches System (2007)

Kögler, Daniela ; Huster, Rolf ; Kronast, Wolfgang ; Mescheder, Ulrich

Optimierung und Charakterisierung eines Membranspiegels zur dynamischen Fokussierung (2007)

Mescheder, Ulrich ; Huster, Rolf ; Kronast, Wolfgang ; Hellmuth, Thomas ; Khrennikov, Konstantin

Einfluss unterschiedlicher Passivierungsschichten auf die Bildungsrate von porösem Silizium an Strukturkanten bei der 3DFormherstellung (2007)

Ivanov, Alexey ; Mescheder, Ulrich ; Kovacs, Andras ; Huster, Rolf

Stressuntersuchung und Optimierung von SOI basierten Membranen (2009)

Kronast, Wolfgang ; Mescheder, Ulrich ; Huster, Rolf

3-D Micro Free-Form Manufacturing in Silicon: Micro Free- Form Production for Plastics Moulding Technology (2006)

Huster, Rolf ; Kovacs, Andras ; Mescheder, Ulrich

Entwicklung einer Stressausgleichsstruktur für spannungsarme aktive Membranspiegel in SOI Technologie (2013)

Kronast, Wolfgang ; Mescheder, Ulrich ; Müller, Bernhard ; Huster, Rolf

Optische Charakterisierung von Stress-relaxierten aktiven MOEMS-Membranspiegeln mit großer Apertur (2015)

Kronast, Wolfgang ; Lange, Volker ; Huster, Rolf ; Mescheder, Ulrich

Open Access