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Entwicklung und Charakterisierung von photonischen Multischichten aus porösem Silizium für biosensorische Anwendungen (2009)

Kovacs, Andras ; Jonnalagadda, Prasad ; Meng, X. ; Mescheder, Ulrich

Stressuntersuchung und Optimierung von SOI basierten Membranen (2009)

Kronast, Wolfgang ; Mescheder, Ulrich ; Huster, Rolf

Optimisation of Surface Quality of 3D Silicon Master Forms for Injection Molding of Optical Micro Elements (2009)

Ivanov, Alexey ; Kovacs, Andras ; Mescheder, Ulrich ; Kuhn, S. ; Kübler, M. ; Burr, A.

Nanostrukturierte Siliziumoberflächen für Mikro-Nano-Integration (2009)

Mescheder, Ulrich ; Kovacs, Andras ; Jonnalagadda, Prasad ; Nimo, Antwi

Validierung von Mikrogetrieben – Erhöhte Korrelation zwischen Simulation und Prüfstandsversuch (2009)

Albers, Albert ; Börsting, Peter ; Deigendesch, Tobias ; Enkler, Hans-Georg ; Leslabay, Pablo

Rechnergestützte Formoptimierung von urgeformten Mikrobauteilen (2009)

Albers, Albert ; Enkler, Hans-Georg

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