Refine
Year of publication
Document type
- Conference Proceeding (41) (remove)
Has full text
- No (41)
Keywords
- CD-ROM (41) (remove)
Validierung von Mikrogetrieben – Erhöhte Korrelation zwischen Simulation und Prüfstandsversuch
(2009)
Oberflächenstabilisierung nanostrukturierter poröser Siliziumschichten für sensorische Anwendungen
(2012)
Steuerung der Peaklage und der Sensitivität von siliziumbasierten porösen optischen Multischichten
(2013)
Optische Charakterisierung von Stress-relaxierten aktiven MOEMS-Membranspiegeln mit großer Apertur
(2015)
Das EMF-Kataster Saar
(2006)