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Proof of Concept and Properties of Micro Hydraulic Displacement Amplifier
(2013)
Zhu, Rui
;
Malisauskaite, Aina
;
Mescheder, Ulrich
;
Wallrabe, Ulrike
Energy Harvesting: Silizium-Chip zum Ernten von Energie aus Vibration
(2013)
Mescheder, Ulrich
;
Müller, Bernhard
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Nimo, Antwi
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Abou Elkeir, Awad S.
Technische Unterstützung für Blinde zur sicheren Bewegung in unbekanntem Umfeld 2. Mikrosystemtechnischer taktiler Informationsgeber für ein Blindennavigationssystem
(2013)
Mescheder, Ulrich
;
Huster, Rolf
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Zhu, Rui
Preiswerter und robuster Harvester für Vibrationsenergie
(2013)
Mescheder, Ulrich
;
Gu, Qingyun
;
Müller, Bernhard
Entwicklung einer Stressausgleichsstruktur für spannungsarme aktive Membranspiegel in SOI Technologie
(2013)
Kronast, Wolfgang
;
Mescheder, Ulrich
;
Müller, Bernhard
;
Huster, Rolf
Development of a focusing micromirror device with an in-plane stress relief structure in SOI technology
(2013)
Kronast, Wolfgang
;
Mescheder, Ulrich
;
Müller, Bernhard
;
Huster, Rolf
Developement of stress relief suspensions for micro-machined silicon membranes
(2013)
Kronast, Wolfgang
;
Mescheder, Ulrich
;
Müller, Bernhard
Einfluss der Morphologie auf die Sensitivität eines photonischen Biosensors
(2013)
Kovacs, Andras
;
Malisauskaite, Aina
;
Mescheder, Ulrich
Optical sensing and analysis system based on porous layers
(2013)
Kovacs, Andras
;
Malisauskaite, Aina
;
Ivanov, Alexey
;
Mescheder, Ulrich
;
Wittig, Rainer
Steuerung der Peaklage und der Sensitivität von siliziumbasierten porösen optischen Multischichten
(2013)
Kovacs, Andras
;
Malisauskaite, Aina
;
Ivanov, Alexey
;
Mescheder, Ulrich
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