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Röntgenstrahllithographie: Herstellung einer 0.5 μm Schaltung und Overlayuntersuchungen
(1989)
Mackens, U.
;
Mescheder, Ulrich
;
Lüthje, H.
Submikrometer Linienbreitenmetrologie hoher Genauigkeit
(1989)
Mescheder, Ulrich
;
Werner, K.
State of the art of pattern placement accuracy of silicon X-ray master masks
(1989)
Pongratz, S.
;
Mescheder, Ulrich
;
Ehrlich, Ch.
;
Huber, H.-L.
;
Kohlmann, K.
;
Windbracke, W.
Ein neuer, axial fördernder Rührer zum Dispergieren von Gas in Flüssigkeiten
(1989)
Hass, Volker C.
;
Nienow, Alvin W.
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