Sensorik: Porous Silicon Based Humidity Sensor with Interdigital Electrodes and Internal Heaters
| Author: | Ulrich MeschederORCiDGND, Andras KovacsORCiDGND, Bernhard Müller |
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| Parent Title (German): | Forschungsbericht |
| Document Type: | Report |
| Identifier: | Im Katalog der Hochschule Furtwangen ansehen |
| Language: | English |
| Year of Completion: | 2002 |
| Release Date: | 2018/09/14 |
| First Page: | 32 |
| Last Page: | 35 |
| Forschungsbericht: | Forschungsbericht 2002 |
| Licence (German): |  Urheberrechtlich geschützt |