Prozess zum Transfer und zur Einbettung von kleinen Dies in ein flexibles Foliensystem bei niedrigen Temperaturen
| Author: | Andreas HeidGND, Lukas Scheuble, Rene von Metzen, Volker BucherORCiDGND |
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| ISBN: | 978-3-8007-4491-6 |
| Parent Title (German): | MikroSystemTechnik Kongress 2017: MEMS, Mikroelektronik, Systeme; 23. – 25. Oktober 2017 in München |
| Publisher: | VDE-Verlag |
| Place of publication: | Berlin |
| Document Type: | Conference Proceeding |
| Language: | German |
| Year of Completion: | 2017 |
| Release Date: | 2018/02/15 |
| Tag: | CD-ROM |
| First Page: | 628 |
| Last Page: | 631 |
| Licence (German): |  Urheberrechtlich geschützt |