Maskenmetrologie: Anforderungen und Trends
| Author: | M. Zander, Ulrich MeschederORCiDGND |
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| ISBN: | 3-18-090935-8 |
| Parent Title (German): | Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine : Tagungsbericht ; Tagung München, 14. November 1991 |
| Publisher: | VDI-Verlag |
| Place of publication: | Düsseldorf |
| Document Type: | Conference Proceeding |
| Language: | German |
| Year of Completion: | 1991 |
| Release Date: | 2018/03/05 |
| First Page: | 7 |
| Last Page: | 40 |
| Licence (German): |  Urheberrechtlich geschützt |