Konzept eines planaren 2-Achsen Silizium Neigungssensors
| Document Type: | Conference Proceeding |
|---|---|
| Author: | S. Majer, Ulrich MeschederORCiDGND |
| Parent Title (German): | Mikro-System-Technik : Mikromechanik & Mikroelektronik ; Chemnitz '95 ; 16. - 17. Oktober 1995, Chemnitz |
| Language: | German |
| Year of Completion: | 1995 |
| Release Date: | 2018/03/05 |
| First Page: | 112 |
| Last Page: | 120 |
| Licence (German): |  Urheberrechtlich geschützt |