Mikromechanischer Neigungssensor für industrielle Anwendungen
Author: | Ulrich MeschederORCiDGND, S. Majer |
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ISSN: | 0943-7207 |
Parent Title (German): | 41. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium 23. - 26.09.1996, Technische Universität Ilmenau, Thüringen, Band 1 Vortragsreihen |
Document Type: | Conference Proceeding |
Language: | German |
Year of Completion: | 1996 |
Release Date: | 2018/03/06 |
First Page: | 507 |
Last Page: | 514 |
Licence (German): | ![]() |