Optische Insitu-Prozesskontrolle beim anisotropen Ätzen von Si-Membranen
| Document Type: | Conference Proceeding |
|---|---|
| Author: | Ulrich MeschederORCiDGND, C. Kötter, E. Kolguin, A. Oukhov |
| ISBN: | 3-8007-2330-1 |
| Parent Title (German): | Sensoren und Meßtechnik: Vorträge der ITG-Fachtagung vom 9. bis 11. März 1998 in Bad Nauheim |
| Publisher: | VDE-Verlag |
| Place of publication: | Berlin |
| Language: | German |
| Year of Completion: | 1998 |
| Release Date: | 2018/09/27 |
| First Page: | 365 |
| Last Page: | 372 |
| Licence (German): |  Urheberrechtlich geschützt |