Optische Insitu-Prozesskontrolle beim anisotropen Ätzen von Si-Membranen

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Metadaten
Author:Ulrich MeschederGND, C. Kötter, E. Kolguin, A. Oukhov
ISBN:3-8007-2330-1
Parent Title (German):Sensoren und Meßtechnik: Vorträge der ITG-Fachtagung vom 9. bis 11. März 1998 in Bad Nauheim
Publisher:VDE-Verlag
Place of publication:Berlin
Document Type:Conference Proceeding
Language:German
Year of Completion:1998
Release Date:2018/09/27
First Page:365
Last Page:372
Access Rights:Frei verfügbar
Licence (German):License LogoEs gilt das UrhG