3D-Mikrostrukturierungsverfahren: von kristallinem Silizium mit lokal einstellbarem Anisotropiefaktor
| Author: | Ulrich MeschederORCiDGND, Andras KovacsORCiDGND |
|---|---|
| ISSN: | 1860-0875 |
| Parent Title (German): | MikroSystemTechnik |
| Document Type: | Contribution to a Periodical |
| Language: | German |
| Year of Completion: | 2005 |
| Release Date: | 2018/01/24 |
| Issue: | 3 |
| First Page: | 7 |
| Last Page: | 9 |
| Licence (German): |  Urheberrechtlich geschützt |