Einfluss unterschiedlicher Passivierungsschichten auf die Bildungsrate von porösem Silizium an Strukturkanten bei der 3DFormherstellung
| Document Type: | Conference Proceeding |
|---|---|
| Author: | Alexey Ivanov, Ulrich MeschederORCiDGND, Andras KovacsORCiDGND, Rolf Huster |
| ISBN: | 978-3-8007-3061-2 |
| Parent Title (German): | Mikrosystemtechnik-Kongress 2007 : 15. - 17. Oktober 2007, Dresden |
| Publisher: | VDE-Verlag |
| Place of publication: | Berlin |
| Language: | German |
| Year of Completion: | 2007 |
| Release Date: | 2018/02/20 |
| Tag: | CD-ROM |
| Page Number: | 4 |
| Licence (German): |  Urheberrechtlich geschützt |