Oberflächenstabilisierung nanostrukturierter poröser Siliziumschichten für sensorische Anwendungen
| Author: | Andras KovacsORCiDGND, Alexey Ivanov, Aina Malisauskaite, Ulrich MeschederORCiDGND |
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| ISBN: | 978-3-8007-3473-3 |
| Parent Title (German): | 74. Mikro-Nano-Integration : Beiträge des 4. GMM-Workshops, 12. - 13. November 2012 in Berlin |
| Publisher: | VDE-Verlag |
| Place of publication: | Berlin |
| Document Type: | Conference Proceeding |
| Language: | German |
| Year of Completion: | 2012 |
| Release Date: | 2018/01/17 |
| Tag: | CD-ROM |
| Licence (German): |  Urheberrechtlich geschützt |