Oberflächenstabilisierung nanostrukturierter poröser Siliziumschichten für sensorische Anwendungen

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Metadaten
Author:Andras Kovacs, Alexey Ivanov, Aina Malisauskaite, Ulrich MeschederORCiDGND
ISBN:978-3-8007-3473-3
Parent Title (German):74. Mikro-Nano-Integration : Beiträge des 4. GMM-Workshops, 12. - 13. November 2012 in Berlin
Publisher:VDE-Verlag
Place of publication:Berlin
Document Type:Conference Proceeding
Language:German
Year of Completion:2012
Release Date:2018/01/17
Tag:CD-ROM
Access Rights:Frei verfügbar
Licence (German):License LogoEs gilt das UrhG