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Galvanisch aus 3D-Fotolack-Strukturen abgeformte metallische 3D-Freiformen

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Metadaten
Author:Frederico Lima, Alok Tungal, Isman M. KhaziORCiDGND, Ulrich MeschederORCiDGND
ISBN:978-3-8007-4491-6
Parent Title (German):MikroSystemTechnik Kongress 2017: MEMS, Mikroelektronik, Systeme, 23. – 25. Oktober 2017 in München
Publisher:VDE Verlag
Place of publication:Berlin
Document Type:Conference Proceeding
Language:German
Year of Completion:2017
Release Date:2018/01/09
Tag:CD-ROM
First Page:375
Last Page:378
Licence (German):License LogoUrheberrechtlich geschützt