Galvanische Prozesse in der Mikrosystemtechnik: Effekte, Kontrolle und Steuerung
| Author: | Klaus Bade, Andreas FathGND, Werner Leskopf |
|---|---|
| ISSN: | 0026-0797 |
| Parent Title (German): | Metalloberfläche: MO |
| Document Type: | Contribution to a Periodical |
| Language: | German |
| Year of Completion: | 1999 |
| Release Date: | 2017/12/07 |
| Volume: | 53.1999 |
| Issue: | 9 |
| First Page: | 34 |
| Last Page: | 38 |
| Licence (German): |  Urheberrechtlich geschützt |