Plasmaunterstützte chemische Dampfphasenabscheidung
| Author: | Volker BucherORCiDGND |
|---|---|
| ISBN: | 978-3-87480-257-4 |
| Parent Title (German): | Vakuum, Plasma, Technologien Teil I |
| Publisher: | Leuze |
| Place of publication: | Bad Saulgau |
| Editor: | Gerhard Blasek, Günter Bräuer |
| Document Type: | Part of a Book |
| Identifier: | Im Katalog der Hochschule Furtwangen ansehen |
| Language: | German |
| Year of Completion: | 2010 |
| Release Date: | 2017/06/28 |
| First Page: | 322 |
| Last Page: | 355 |
| Licence (German): |  Urheberrechtlich geschützt |