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Temperatureinfluss auf die Peakposition bei verschiedenen Umgebungsmedien in Porösen Silizium Multilayerschichten

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Metadaten
Author:Andras KovacsORCiDGND, Philipp Maurer, Ulrich MeschederORCiDGND
ISBN:978-3-8007-4100-7
Parent Title (German):MEMS, Mikroelektronik, Systeme : proceedings ; MikroSystemTechnik Kongress 2015, 26.-28. Oktober 2015 in Karlsruhe
Publisher:VDE-Verlag
Place of publication:Berlin
Document Type:Conference Proceeding
Language:German
Year of Completion:2015
Release Date:2016/12/14
Tag:CD-ROM
First Page:547
Last Page:550
Licence (German):License LogoUrheberrechtlich geschützt