Optische Charakterisierung von Stress-relaxierten aktiven MOEMS-Membranspiegeln mit großer Apertur

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Metadaten
Author:Wolfgang Kronast, Volker Lange, Rolf Huster, Ulrich MeschederGND
ISBN:978-3-8007-4100-7
Parent Title (German):MEMS, Mikroelektronik, Systeme : proceedings ; MikroSystemTechnik Kongress 2015, 26.-28. Oktober 2015 in Karlsruhe
Publisher:VDE-Verlag
Place of publication:Berlin
Document Type:Conference Proceeding
Language:German
Year of Completion:2015
Release Date:2016/12/14
Tag:CD-ROM
First Page:523
Last Page:526
Access Rights:Frei verfügbar
Licence (German):License LogoEs gilt das UrhG