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Optimierung der Technologie und Herstellung von freitragenden Polysilizium-Membranen

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Metadaten
Author:Andras Kovacs, A. Stoffel
Parent Title (German):Forschungsbericht der Fachhochschule Furtwangen
Publisher:Weka-Verlag
Place of publication:Kissing
Document Type:Report
Catalogue Record:Im Katalog der Hochschule Furtwangen ansehen
Language:German
Year of Completion:1992
Release Date:2018/02/20
Pagenumber:3
First Page:30
Last Page:32
Open Access:Frei verf├╝gbar
Project report:Forschungsbericht 1992
Licence (German):License LogoEs gilt das UrhG