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Einfluss unterschiedlicher Passivierungsschichten auf die Bildungsrate von porösem Silizium an Strukturkanten bei der 3DFormherstellung

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Metadaten
Author:Alexey Ivanov, Ulrich MeschederORCiDGND, Andras Kovacs, Rolf Huster
ISBN:978-3-8007-3061-2
Parent Title (German):Mikrosystemtechnik-Kongress 2007 : 15. - 17. Oktober 2007, Dresden
Publisher:VDE-Verlag
Place of publication:Berlin
Document Type:Conference Proceeding
Language:German
Year of Completion:2007
Release Date:2018/02/20
Tag:CD-ROM
Pagenumber:4
Open Access:Frei verfügbar
Licence (German):License LogoEs gilt das UrhG