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Mikrotechnologie: Herstellung von porösem Silizium und seine Anwendungsmöglichkeit in der Sensortechnologie

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Metadaten
Author:Ulrich MeschederORCiDGND, Andras KovacsORCiDGND
Parent Title (German):Forschungsbericht
Document Type:Report
Identifier:Im Katalog der Hochschule Furtwangen ansehen
Language:German
Year of Completion:2000
Release Date:2018/09/13
First Page:10
Last Page:11
Forschungsbericht:Forschungsbericht 2000
Licence (German):License LogoUrheberrechtlich geschützt