Volltext-Downloads (blau) und Frontdoor-Views (grau)
  • search hit 8 of 16
Back to Result List

Oberflächenstabilisierung nanostrukturierter poröser Siliziumschichten für sensorische Anwendungen

Export metadata

Additional Services

Search Google Scholar

Statistics

frontdoor_oas
Metadaten
Author:Andras KovacsORCiDGND, Alexey Ivanov, Aina Malisauskaite, Ulrich MeschederORCiDGND
ISBN:978-3-8007-3473-3
Parent Title (German):74. Mikro-Nano-Integration : Beiträge des 4. GMM-Workshops, 12. - 13. November 2012 in Berlin
Publisher:VDE-Verlag
Place of publication:Berlin
Document Type:Conference Proceeding
Language:German
Year of Completion:2012
Release Date:2018/01/17
Tag:CD-ROM
Licence (German):License LogoUrheberrechtlich geschützt