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Galvanische und aussenstromlose Methoden zur Herstellung metallischer Mikrostrukturen

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Metadaten
Author:Klaus Bade, Andreas FathGND, Markus Guttmann, Eric Walch
ISSN:0947-8620
Parent Title (German):4. Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, 30./31. März 2000 im Forschungszentrum Karlsruhe
Publisher:Forschungszentrum Karlsruhe GmbH
Place of publication:Karlsruhe
Document Type:Conference Proceeding
Language:German
Year of Completion:2000
Release Date:2017/12/11
First Page:199
Last Page:200
Licence (German):License LogoUrheberrechtlich geschützt