Submikrometer Linienbreitenmetrologie hoher Genauigkeit
| Author: | Ulrich MeschederORCiDGND, K. Werner |
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| ISBN: | 3-18-090795-9 |
| Parent Title (German): | Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine: Tagungsbericht, München, 09. November 1989; VDI-Berichte, 795 |
| Document Type: | Conference Proceeding |
| Language: | German |
| Year of Completion: | 1989 |
| Release Date: | 2018/01/29 |
| First Page: | 155 |
| Last Page: | 190 |
| Licence (German): |  Urheberrechtlich geschützt |