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Entwicklung einer Stressausgleichsstruktur für spannungsarme aktive Membranspiegel in SOI Technologie

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Metadaten
Author:Wolfgang Kronast, Ulrich MeschederORCiDGND, Bernhard Müller, Rolf Huster
ISBN:978-3-8007-3555-6
Parent Title (German):Von Bauelementen zu Systemen : proceedings / Mikrosystemtechnik-Kongress 2013, 14. - 16. Oktober 2013 in Aachen
Publisher:VDE-Verlag
Place of publication:Berlin
Document Type:Conference Proceeding
Language:German
Year of Completion:2013
Release Date:2018/01/17
Tag:CD-ROM
First Page:432
Last Page:435
Open Access:Frei verfügbar
Licence (German):License LogoEs gilt das UrhG