Optische Charakterisierung von Stress-relaxierten aktiven MOEMS-Membranspiegeln mit großer Apertur
Author: | Wolfgang Kronast, Volker Lange, Rolf Huster, Ulrich MeschederORCiDGND |
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ISBN: | 978-3-8007-4100-7 |
Parent Title (German): | MEMS, Mikroelektronik, Systeme : proceedings ; MikroSystemTechnik Kongress 2015, 26.-28. Oktober 2015 in Karlsruhe |
Publisher: | VDE-Verlag |
Place of publication: | Berlin |
Document Type: | Conference Proceeding |
Language: | German |
Year of Completion: | 2015 |
Release Date: | 2016/12/14 |
Tag: | CD-ROM |
First Page: | 523 |
Last Page: | 526 |
Licence (German): | Urheberrechtlich geschützt |