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Herstellung und Charakterisierung von Dünnschicht-Mikroelektroden mit herkömmlichem und porösem Polysilizium

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Metadaten
Author:Volker BucherORCiDGND
Document Type:Diploma Thesis
Language:German
Year of Completion:1997
University:Universität Tübingen
City of university:Tübingen
Release Date:2017/06/28
Page Number:92
Licence (German):License LogoUrheberrechtlich geschützt